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「シラン及びその混合ガスの貯蔵と取扱い」発行のご案内

2023.11.10

国際整合化参考文書「シラン及びその混合ガスの貯蔵と取扱い」 (IHC-Doc/25/23)を発行しました。

シランはシリコンの供給源であり、自然発火性のガスです。近年では、半導体、液晶ディスプレイ、太陽電池、及び関連製造技術による消費の増加に伴い、世界中で使用されており、その使用料は大幅に増加しています。

シランの危険性は、大気中に放出された際に炎を伴い自己発火する、又は放出はしているが遅れて発火するといった性質にあります。

その為、圧縮ガス協会(Compressed Gas Association;CGA)では、これまで様々な研究により新しい技術データが作成されてきました。

本書はそれらの、シランシステムの設置管理方法について、またはシラン及びその混合ガスを供給源から使用場所まで貯蔵又は運搬する際の推奨される方法を規定しており、シラン使用時の傷害・死亡事故、物的損害・損傷から保護することを目的としています。
国際整合化参考文書としてご活用ください。(全訳/含原文)

<本書ダウンロード方法>
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シラン及びその混合ガスの貯蔵と取扱い